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机译:用于重力梯度仪器的subnano-g静电力 - 再平衡挠性加速度计
Shitao Yan; Yafei Xie; Mengqi Zhang; Zhongguang Deng; Liangcheng Tu;
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机译:平面外双挠性MEMS压阻式加速度计,具有低交叉轴灵敏度
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